Zernike多项式波前重建算法
首先,干涉图需要进行图像处理。通常通过干涉仪所获得的干涉图是光强分布,并非干涉图像的相位分布。
采用傅立叶变换空间载波法从强度分布得到相位分布,即从空间上呈正弦分布的光强信息,恢复出波面的相位信息,流程图如图9所示。
这个部分仿真结果如下所示:
基于相位跳变区域划分的相位解包方法将相位区域划分为相位跳变区和非相位跳变区,将误差限制在很小的范围内的一种比较简单、抗噪声能力比较强的相位解包方法,流程图如图10所示。
编写用于提取相位信息的傅立叶变换空间载波法的程序及其基于相位跳变区域划分的相位解包程序,为剪切干涉测量系统提供图像处理程序;
其次,需要重建波前。在对波前重建算法进行研究分析的基础上,采用Zernike多项式最小二乘拟合波前的拟合算法及其重构方法,编写了Zernike多项式波前重建算法程序,为剪切干涉测量提供重建波面程序。
A19-10
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