探针台选型的有哪些注意事项

探针台是一种很专业的仪器，它主要的功能就是针对半导体元件进行检测，这里面说的半导体元件指的是集成电路，分立器件，光电器件，传感器等元件以及封装的测试。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压，电流，电阻和电容电压特性曲线等参数检测。可以适用于对芯片进行科研分析，抽查检测等；可以保证这些半导体元件的质量，缩短研发时间和器件制作工艺的成本，所以，它的存在对于制造半导体的企业来说是非常重要的。

随着半导体市场的逐步开放和增长，作为半导体检测的必备仪器—探针台的市场也在逐年增长和扩大中，不论是海外品牌还是国产品牌，近几年在半导体检测仪器市场中的规模都在逐年扩大。

从全球的探针台市场来看，目前还是以国外的企业为主导，他们占据了大部分的探针台市场。近乎7成的市场份额都被国外探针台企业所占据，仅有3成的市场由台湾企业及国内的厂商占据，可以说比重较低。

由于我国在半导体市场上长期被国外企业掣肘，因此，我国已经开始下大力气在半导体的研发中了，国家会给半导体行业很多政策上的扶持。所以，国内的探针台企业也在努力力争上游，带着研发团队不断提升自身技术和自身的竞争力。相信在不久的将来，我国半导体行业将会有飞跃性的进展。

探针台按照功能区分，分为常温探针台，高温探针台，高低温探针台，以及霍尔探针台还有其他定制型专用探针台等，而目前常温探针台，高温探针台无论是性能还是操作使用便捷性上，都已经足以媲美进口品牌，而高低温探针台液氮（77K）温区经过这几年的发展品质也足够稳定，至于超低温液氦（4K）温区还在需要更多的磨练与发展。但是这里值得注意的是不管处于哪个技术要求下的探针台，国产探针台的价格都能比进口探针台相差几倍，甚至几十倍之大。

北京锦正茂科技有限公司专注于物理、化学和材料等领域的科学仪器研发、制造、销售、服务为一体的综合型高科技企业。为广大科研工作者提供磁性、低温、高温、真空的实验环境。自2011年成立至今，已研发出高低温磁场真空探针台测试系统。探测设备使用典型的单系统四探针法（也支持双探针，六探针或八探针）测量直流脉冲，低频率信号或微波信号或同时使用两种信号。我们制造的每套系统都采用标准的品质工艺。所生产的产品已经成为您所有的对于标准和定制低温系统的需求的最佳选择。

以下是探针台选型注意事项

※最大需要测几inch的晶圆或者器件？是否需要测试破片或者单颗芯片，最小的单颗芯片尺寸？
※探针台机械精度要求多高？
※点测样品的电极尺寸？100μm *100μm或60μm *60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路？
※最多需要几个探针同时去点测？
※是否会用到探针卡测试？
※光学显微镜的最小分辨率需要用到多少？
※显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？
※探针点测时，对电流的要求能否达到100fa或者以下？低

电容要求能否要做到0.1pf？是否有射频需求？
※接驳的测试仪器接口有哪些？
※测试环境时是否会需要加热或者降温？是否需要密闭腔体？
※对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？
※是否需要防震桌？
※若添置防震桌，是否有压缩空气？

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