TXB2016.2

　随着真空技术的发展，在半导体工业、表面科学、真空冶金、生物制药、新材料生产与研究等领域中，真空系统的应用越来越广泛。在真空技术的应用中，真空系统的漏气是绝对的、不可避免的。我们需要不断研究提高系统的密封性，降低系统的漏气率。

当对真空系统抽气时，系统内的压力变化由下面方程决定。

dP/dt=-(S/V)P+Q/V

式中P--真空室压力

　　S--抽气系统对真空室的实际有效抽速

　　V--真空室的容积

　　Q--系统内所有的有效气源（漏气率与放气率的总和）

如果真空泵工作正常，真空系统经过较长时间抽气后，仍然达不到预期的真空度，或者真空室与抽气系统隔离后，真空室内的压力不断升高，则可断定真空系统存在漏气现象或真空系统内部材料放气（包括表面出气、渗漏、蒸气压等）现象，在真空系统的操作中，应该对两者中的主要原因作出正确判断，以便采取相应措施解决。

除泵的原因以外，真空系统漏气的原因常见的有以下情况。

　　1、器壁材料有气孔、夹渣、裂纹。轧制材料出现这种缺陷的可能性小，而铸件易引起这种缺陷。

　　2、焊接、封接时有缺陷。原因是焊接时操作不慎，焊接工艺选择不当，焊缝设计不合理，焊接顺序选择不当，焊接操作不方便等因素，均会引起焊缝漏气。

　　3、零件在冷加工中出现裂纹。如弯管时不小心会产生裂纹；焊后加工的法兰，易引起法兰与管道间焊缝产生裂纹。

　　4、零件受冷、热冲击或机械冲击后，焊缝产生裂纹。

　　5、在焊接应力作用下使焊缝产生裂纹。

　　6、密封面加工粗糙、有划痕、有油污、氧化皮等；密封圈有划伤，压缩量不够，均会引起漏气。

　　7、法兰变形，或压的不平，螺栓没上紧均能引起漏气。真空管道上往往安装有许多法兰、阀门，连接部位是易漏点。

　　由于上述原因，金属真空系统易漏气的部位有：焊缝起焊及收焊部位，两条焊缝交叉点，波纹管焊接部位，管接头焊缝，受运动影响的钎焊焊缝。法兰密封或动密封处，如果安装前仔细清洗，装配合理，这种部位不易漏气。金属一陶瓷、金属一玻璃封接处，如引出电极、规管的高压引线，管脚，管帽等处。受冷、热冲击影响的焊缝。

如果除泵以外的管路系统等没有问题，抽气后达不到预期的真空度，需要对真空泵进行检查，用真空计连接真空泵进气口，测量泵真空度是否达到要求。检查泵进出口连接处的密封圈、法兰垫片有无损坏，螺栓预紧力是否合适，是否符合使用条件特别是存在较大温度变化的场合。各种真空泵达不到真空度要求的常见原因如下：电机故障、过滤器堵塞、进气、排气管道过长或管径太小、工作温度过高。旋片真空泵：泵油油位太低，不能对排气阀起油封作用；泵油为可凝性蒸汽所污染，造成真空度下降；进气咀或气镇阀橡胶密封圈装配不当；进气咀油孔堵塞；真空系统严重污染；旋片弹簧折断；旋片、泵身或铜衬磨损，间隙过大；泵温过高，使油粘度下降，饱和蒸汽压升高，还可能造成泵油裂解。水环式真空泵：叶轮与端盖间隙过大；密封填料磨损；供水量不足及水温过高。往复式真空泵：吸入气体温度太高；气阀片与阀座接触不良；阀片损坏；气缸磨坏或活塞环太松。真空隔膜泵最常见的故障有污物粘附、膜片破裂。优异的膜片材料、合理的结构设计能有效延长膜片寿命。目前寿命长、可靠性高的微型真空泵有国产“气海”、GAST、KNF等品牌。“气海”有一类调速气泵在检漏领域应用越来越广泛，它可以通过电子方式调节流量，还能输出反馈型号、有自我保护功能等。

为了保证真空系统能达到和保持工作需要的真空，除需要配备合适的、抽气性能良好的真空泵以外，真空系统的其它零部件还必须经过严格的检漏，以便消除破坏真空的漏孔，使系统中的漏气量小到工艺要求所允许的程度。低(粗)真空、中真空和高真空系统一般用气压检漏 ；对于超高真空系统，在采用一般检漏法粗检以后，还要采用灵敏度较高的检漏仪，如卤素检漏仪和质谱检漏仪来检漏。